அதிக வெப்பநிலை சென்சாரின் முக்கியத்துவம்

சமீபத்திய ஆண்டுகளில், எனது நாட்டின் சென்சார் தொழில்நுட்பம் வேகமாக வளர்ந்து வருகிறது, மேலும் அதன் பயன்பாட்டுத் துறைகளும் விரிவடைந்து வருகின்றன. நவீன அளவீட்டு தொழில்நுட்பத்தின் மிகவும் முதிர்ச்சியடைந்த வகையாக, புதிய தொழில்நுட்பங்கள், புதிய பொருட்கள் மற்றும் புதிய செயல்முறைகள் அழுத்தம் சென்சார்கள் துறையில் தொடர்ந்து உருவாகின்றன.

அழுத்தம் சென்சார் என்பது அழுத்தம் சமிக்ஞைகளைக் கண்டறிந்து சில விதிகளின்படி அவற்றை மின் சமிக்ஞைகளாக மாற்றுவதற்குப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு சாதனமாகும். இது பல்வேறு உற்பத்தி, தொழில்துறை மற்றும் விண்வெளி துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. பயன்பாட்டுத் துறைகளின் உட்பிரிவு, உயர் வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான சூழல்களில் அதிக வெப்பநிலை எண்ணெய் கிணறுகள் மற்றும் பல்வேறு இயந்திர துவாரங்கள் போன்ற அழுத்த அளவீட்டு மிகவும் முக்கியத்துவம் வாய்ந்தது, அதே நேரத்தில் சாதாரண அழுத்த சென்சார்களில் பயன்படுத்தப்படும் பொருட்கள் ஒரு குறிப்பிட்ட வெப்பநிலையை விட அதிகமாக உள்ளன (எடுத்துக்காட்டாக, பரவலான சிலிக்கான் அழுத்தத்தின் வெப்பநிலை குறைவானது. ° C) தோல்வியடையும், இதன் விளைவாக அழுத்தம் அளவீட்டு தோல்வி ஏற்படும். எனவே, அதிக வெப்பநிலை அழுத்தம் சென்சார் மிக முக்கியமான ஆராய்ச்சி திசையாக மாறும்.

அதிக வெப்பநிலையின் வகைப்பாடுஅழுத்தம் சென்சார்கள்

பயன்படுத்தப்படும் வெவ்வேறு பொருட்களின்படி, உயர் வெப்பநிலை அழுத்தம் சென்சார்களை பாலிசிலிகான் (பாலி-சி) உயர் வெப்பநிலை அழுத்தம் சென்சார்கள், எஸ்.ஐ.சி உயர் வெப்பநிலை அழுத்தம் சென்சார்கள், எஸ்ஓஐ (இன்சுலேட்டரில் சிலிக்கான்) உயர் வெப்பநிலை அழுத்தம் சென்சார்கள், எஸ்ஓஎஸ் (சப்பாயில் சிலிக்கான்) சிலிக்கான்-ஸ்பீக்ஃபைர் பிரஷர் சென்சார்கள் மற்றும் ஓப்டிகல் ஃபைபர் சென்சார்கள் மற்றும் ஓப்டிகல் ஃபார்ம் என பிரிக்கலாம் SOI உயர் வெப்பநிலை அழுத்தம் சென்சார்களின் வாய்ப்புகள் மிகவும் சிறந்தவை. பின்வருபவை முக்கியமாக SOI உயர் வெப்பநிலை அழுத்த சென்சாரை அறிமுகப்படுத்துகின்றன.

SOI உயர் வெப்பநிலை அழுத்தம் சென்சார்

SOI உயர்-வெப்பநிலை அழுத்தம் சென்சார்களின் வளர்ச்சி முக்கியமாக SOI பொருட்களின் எழுச்சியை நம்பியுள்ளது. Soi என்பது இன்சுலேட்டரில் சிலிக்கான் ஆகும், இது முக்கியமாக SI அடி மூலக்கூறு அடுக்கு மற்றும் Si மேல் அடுக்கு சாதன அடுக்குக்கு இடையில் உருவாகும் குறைக்கடத்தி பொருளைக் குறிக்கிறது. சாதனத்தின் நம்பகத்தன்மை. கூடுதலாக, SOI சாதன அடுக்கின் உயர் வெப்பநிலை பண்புகள் காரணமாக, இது உயர் வெப்பநிலை அழுத்தம் சென்சார்களைத் தயாரிப்பதற்கான சிறந்த பொருளாக மாறும்.

தற்போது, ​​SOI உயர் -வெப்பநிலை அழுத்தம் சென்சார்கள் வெளிநாடுகளில் வெற்றிகரமாக உருவாக்கப்பட்டுள்ளன, மேலும் வேலை வெப்பநிலை -55 ~ 480 ° C; -55 ~ 500 ° C SOI உயர் வெப்பநிலை அழுத்தம் சென்சார் அமெரிக்காவில் குட்ரிச் மேம்பட்ட சென்சார் தொழில்நுட்ப மையத்தால் உருவாக்கப்பட்டது; பிரெஞ்சு லெட்டி இன்ஸ்டிடியூட் உருவாக்கிய SOI உயர் வெப்பநிலை அழுத்தம் சென்சார் 400 ° க்கும் அதிகமான வேலை வெப்பநிலையைக் கொண்டுள்ளது. சி. கூடுதலாக, ஃபத்ரி எதிர்கால மேம்பட்ட தொழில்நுட்ப ஆராய்ச்சி நிறுவனம் ஃபாட்ரி தொடர்புடைய ஆராய்ச்சிப் பணிகளை மேற்கொண்டு வருகிறது, மேலும் தற்போதைய திட்டம் ஆர்ப்பாட்ட கட்டத்தில் நுழைந்துள்ளது.

SOI உயர் வெப்பநிலை அழுத்த சென்சாரின் செயல்பாட்டு கொள்கை

கொள்கையளவில், SOI உயர் வெப்பநிலை அழுத்த சென்சார் முக்கியமாக ஒற்றை படிக சிலிக்கானின் பைசோரிசிஸ்டிவ் விளைவைப் பயன்படுத்துகிறது. சிலிக்கான் படிகத்தின் மீது ஒரு சக்தி செயல்படும்போது, ​​படிகத்தின் லட்டு சிதைந்து போகிறது, இதன் விளைவாக கேரியர்களின் இயக்கத்தில் மாற்றத்திற்கு வழிவகுக்கிறது, இதன் விளைவாக சிலிக்கான் டாப் டோப்செஸ்டோர்டிவிட்டி ஒரு முறைசார் படிகங்கள் படம் 2 (அ) இல் காட்டப்பட்டுள்ளபடி; அழுத்தம் உணர்திறன் கட்டமைப்பை உருவாக்க SOI அடி மூலக்கூறு அடுக்கில் ஒரு அழுத்தம் பின் குழி பொறிக்கப்பட்டுள்ளது.

படம் 2 (அ) வீட்ஸ்டோன் பாலம்

அழுத்தம்-உணர்திறன் அமைப்பு காற்று அழுத்தத்திற்கு உட்படுத்தப்படும்போது, ​​பைசோரோஸ்டரின் எதிர்ப்பு மாறுகிறது, இது வெளியீட்டு மின்னழுத்த Vout ஐ மாற்றுகிறது, மேலும் வெளியீட்டு மின்னழுத்த மதிப்புக்கும் பைசோரெசிஸ்டரின் எதிர்ப்பு மதிப்புக்கும் இடையிலான உறவின் மூலம் அழுத்தம் மதிப்பு அளவிடப்படுகிறது.

SOI உயர் வெப்பநிலை அழுத்த சென்சாரின் புனைகதை செயல்முறை

SOI உயர் வெப்பநிலை அழுத்தம் சென்சாரின் தயாரிப்பு செயல்முறை பல MEMS செயல்முறைகளை உள்ளடக்கியது. சில முக்கிய படிகள் சென்சாரின் செயல்முறையைப் புரிந்துகொள்ள சுருக்கமாக இங்கு அறிமுகப்படுத்தப்படுகின்றன, முக்கியமாக பைசோர்சிஸ்டர் தயாரிப்பு, உலோக முன்னணி தயாரிப்பு, அழுத்தம்-உணர்திறன் திரைப்பட தயாரிப்பு மற்றும் அழுத்தம் அறை பேக்கேஜிங் ஆகியவை அடங்கும்.

மாறுபாடு தயாரிப்பதற்கான திறவுகோல் ஊக்கமருந்து செறிவின் கட்டுப்பாடு மற்றும் அடுத்தடுத்த பொறித்தல் மோல்டிங் செயல்முறையின் தேர்வுமுறை ஆகியவற்றில் உள்ளது; மெட்டல் லெட் லேயர் முக்கியமாக வீட்ஸ்டோன் பாலத்தின் இணைப்பாக செயல்படுகிறது; அழுத்தம் உணர்திறன் படத்தைத் தயாரிப்பது முக்கியமாக ஆழமான சிலிக்கான் பொறித்தல் செயல்முறையை நம்பியுள்ளது; அழுத்த சென்சாரின் பயன்பாட்டைப் பொறுத்து குழியின் பேக்கேஜிங் பொதுவாக மாறுபடும்,

தற்போதைய வணிகமயமாக்கப்பட்ட உயர் வெப்பநிலை அழுத்தம் சென்சார்கள் உயர் வெப்பநிலை எண்ணெய் கிணறுகள் மற்றும் ஏரோ-என்ஜின்கள் போன்ற சிறப்பு கடுமையான சூழல்களின் அழுத்த அளவீட்டுத் தேவைகளை நன்கு பூர்த்தி செய்ய முடியாது என்பதால், உயர் வெப்பநிலை அழுத்தம் சென்சார்கள் குறித்த எதிர்கால ஆராய்ச்சி தவிர்க்க முடியாததாகிவிட்டது. அதன் சிறப்பு அமைப்பு மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை பண்புகள் ஆகியவற்றிற்கு வழிவகுத்தது. SOI உயர் வெப்பநிலை அழுத்தம் சென்சார்கள் குறித்த எதிர்கால ஆராய்ச்சி உயர் வெப்பநிலை கடுமையான சூழல்களில் சென்சார்களின் நீண்டகால நிலைத்தன்மை மற்றும் சுய வெப்ப சிக்கல்களைத் தீர்ப்பதில் கவனம் செலுத்த வேண்டும் மற்றும் அழுத்தம் சென்சார்களின் துல்லியத்தை மேம்படுத்த வேண்டும். அம்சம்.

நிச்சயமாக, புத்திசாலித்தனமான சகாப்தத்தின் வருகைக்கு SOI உயர் வெப்பநிலை அழுத்தம் சென்சார்கள் பிற பன்முக தொழில்நுட்பங்களுடன் இணைந்து சுய ஒப்புதல், சுய அளவுத்திருத்தம் மற்றும் தகவல் சேமிப்பு போன்ற அதிக புத்திசாலித்தனமான செயல்பாடுகளை சென்சாருக்கு கொண்டு வர வேண்டும், இதனால் சிக்கலான உயர் வெப்பநிலை சுற்றுச்சூழல் அழுத்தத்தை உணரும் பணியை சிறப்பாக முடிக்க. .